Endlich korrigiert, DUV Beschichtung, 15X/0,28NA HP ReflX

Beschreibung Produktfamilie

• Beugungsbegrenzte Leistung: Transmittierte Wellenfront λ/14 RMS
• Konisches Design bietet mehr Freiraum bei 45° Einfallswinkel
• Geschwungene Arme reduzieren Beugungseffekte
• TECHSPEC^® ReflX™ Objektive ebenfalls verfügbar

Unsere hochqualitativen ReflX™ Objektive sind eine Weiterentwicklung der standardmäßigen ReflX™ Objektive. Sie haben mit einem Spitze-Spitze-Wert (S-S) von λ/4 eine bessere Wellenfrontübertragung und durch ihre konische Form kann mit Einfallswinkeln bis 45° gearbeitet werden. Die Herstellung von Spiegelobjektiven mit λ/4 S-S erfordert hochpräzise Spiegeloberflächen. Unserer Fertigung verwendet ein QED Q22-MRF System und ein QED SSI Abtastungsinterferometer, um die Spiegeloberflächen auf λ/20 S-S und besser zu polieren und zu vermessen.

Viele Anwendungen für Spiegelobjektive erfordern eine Ausrichtung für einen Einfallswinkel von 45°. Die konische Form des hochqualitativen ReflX™ schafft >6 mm Freiraum zur Objektebene. Um Beugungseffekte an geraden Befestigungsarmen zu minimieren, sind die Haltearme des ReflX™ geschwungen. Alle Innenflächen wurden speziell behandelt, um Streulicht zu vermeiden. Jedes Objektiv wird mit unserem Zygo GPI-XP Interferometer getestet und zertifiziert. Das Zertifikat liegt jedem Objektiv bei.

Bei Fragen zu Sonderanfertigungen (z. B. Laserbeschichtungen und andere Tubuslängen) oder großen Stückzahlen wenden Sie sich bitte an unseren Vertrieb.