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Planspiegel für extremes Ultraviolett (EUV-Planspiegel)

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

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  • Maximal erreichbare Reflexion bei 13,5 nm
  • Entwickelt zur EUV-Strahlumlenkung und Abtrennung von Oberwellen
  • Versionen für 5° und 45° Einfallswinkel erhältlich

Spezifikationen

Durchmesser (mm):
25.40 ±0.25
Rückseite:
Commercial Polish
Freie Apertur (%):
90
Kanten:
Fine Ground
Parallelität (Bogenminuten):
3
Oberflächenrauheit (Angström):
<5 RMS
Dicke (mm):
6.35 ±0.508
Toleranz Dicke (mm):
0.508
Oberflächenebenheit (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
Substrat:
Single Crystal Silicon
Oberflächenqualität:
10 - 5
Beschichtung:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
Art der Beschichtung:
Metal/Semiconductor
Designwellenlänge DWL (nm):
13.5
Zentralenergie (eV):
92

Produkte

Durchm. (mm)  Beschichtungsspezifikation   Beschichtung  AOI (°)  Dicke (mm)   Vergleichen   Artikelnummer   Preis  Kaufen
25.40 Rabs >60% @ 13.5nm, 5° (s-pol) Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
5 6.35
25.40 Rabs >65% @ 13.5nm, 45° (s-pol) Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
45 6.35

Produktdetails

TECHSPEC® Planspiegel für extremes Ultraviolett (EUV-Planspiegel) sind mehrlagige Spiegel mit maximaler Reflexion bei der Designwellenlänge und im Design-Einfallswinkel. Diese Spiegel besitzen eine Beschichtung, die auf einem superpolierten Monokristallsiliziumsubstrat aufgebracht wird und weisen eine Oberflächenrauheit von unter 3 Å RMS auf. Spiegel für 45° Einfallswinkel werden zur Umlenkung von s-polarisiertem Licht eingesetzt, während Spiegel für 5° Einfallswinkel mit nicht polarisiertem Licht verwendet werden. Anwendungen für EUV-Spiegel sind beispielsweise die Bildverarbeitung mittels kohärenter Beugung (CDI) und die Werkstoffforschung. TECHSPEC Planspiegel für extremes Ultraviolett (EUV) eignen sich auch zur Abtrennung von Oberwellen aus Laserstrahlen mit starker Oberwellenerzeugung (HHG).

Bitte beachten Sie: Testdaten für ein Muster des Spiegels aus jedem Fertigungslauf sind im Lieferumfang miteingeschlossen.

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