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Die dichroitischen Filter für extremes Ultraviolett (EUV), auch als Strahlseparatoren bezeichnet, wurden für Anwendungen zur Erzeugung hoher Harmonischer entwickelt und bieten eine gute Trenneffizienz zwischen EUV- und NIR-Wellenlängen. Die Filter bestehen aus Quarzglassubstraten und halten höherer Laserleistung stand als die Strahlseparatoren mit Brewster-Winkel und EUV-Filter. Die dichroitischen EUV-Filter haben eine große Bandbreite von 10 nm bis 40 nm. Zusätzlich zur Erzeugung hoher Harmonischer können die Filter auch in EUV-Anwendungen wie EUV-Lithographie oder EUV-Nanotechnologie, der kohärenten diffraktiven Bildgebung sowie für die Erzeugung von ultrakurzen Attosekunden-Pulsen eingesetzt werden.
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