Vakuumkompatible Verzögerungsplatten für DUV

Vakuumkompatible Verzögerungsplatten für DUV sind in einer nicht eloxierten Aluminiumhalterung gefasst und frei von Klebstoffen, sodass sie ein geringes Ausgasen in Vakuumumgebungen sicherstellen.  Die Verzögerungsplatten erreichen >99,8% Transmission für die Designwellenlängen 257 oder 266 nm, die Platten werden mit Verzögerungen von jeweils λ/2 oder λ/4 angeboten. Die Verzögerungsplatten haben aufgrund einer hervorragenden Verzögerungstoleranz und der nullten Ordnung eine höhere Bandbreite und eine geringere Empfindlichkeit bezüglich Temperaturänderungen. Bei den vakuumkompatiblen Verzögerungsplatten für DUV ist für eine einfache Zuordnung und Systemintegration die schnelle Achse auf der Seite der Halterung markiert. Die Verzögerungsplatten sind ideal für Einsätze im Bereich Life-Science und Lithografie, bei denen eine Vakuumumgebung benötigt wird.