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LightSmyth™ Nanostrukturiertes Silizium von Coherent®

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  • Gerillte Oberflächen im Nanobereich
  • Verschiedene Rillenperioden und Rillentiefen
  • Ideal für nanophotonische Forschungsanwendungen

LightSmyth™ Nanostrukturiertes Silizium von Coherent® besteht aus nanostrukturierten Oberflächen auf einkristallinen Siliziumsubstraten. Durch reaktives Ionenätzen entstehen auf der Substratoberfläche lineare Rillen mit trapezförmigem Querschnitt, die konventionellen Gittern ähneln. Der Ätzprozess ermöglicht verschiedene Perioden- und Tiefenspezifikationen für die Rillen sowie komplexere Muster wie z. B. Gitter. LightSmyth™ Nanostrukturiertes Silizium von Coherent ist ideal für nanophotonische Forschungsanwendungen in den Bereichen Optik und Photonik, Biologie, Chemie, Nanoimprinten und Mikrofluidik.

Hinweis: II-VI Incorporated ist ab sofort Coherent Corp.

Spezifikationen

Größe (mm):
12.50 x 12.50
Freie Apertur CA (mm):
11.50 x 11.50
Aufbau:
RIE Grating
Länge (mm):
12.50
Dicke (mm):
0.68 ±0.05
Breite (mm):
12.50
Beschichtung:
Uncoated
Substrat:
Single Crystal Silicon
Oberflächenqualität:
60-40 (within CA)

Produkte

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855 12.50 x 12.50
139 12.50 x 12.50

Technische Informationen

SEM Image of 855nm, 200nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Cross Section)
SEM Image of 855nm, 200nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Cross Section)
SEM Image of 855nm, 200nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Top Down)
SEM Image of 855nm, 200nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Top Down)
SEM Image of 139nm, 50nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Cross Section)
SEM Image of 139nm, 50nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Cross Section)
SEM Image of 139nm, 50nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Top Down)
SEM Image of 139nm, 50nm Groove Depth Linear Silicon Nanostamps (Top Down)

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